光刻机。
中芯,北方的华力微电子,北微等几家国内一线的晶圆厂,都指望着用这款光刻机来突破十四纳米工艺呢。
但是他们想要拿到货,最早也要明年了。
今年有限的HDUV-600的产能,将会全部供货给智云微电子,用于十纳米工艺以及后续七纳米工艺的生产。
智云微电子的十纳米工艺已经完成了技术验证,目前还在提升良率当中,而使用之前的HDUV-500A光刻机来做这个等效十纳米工艺,也不是不能做的,但是良率太低,成本太高,商业化还是比较困难。
因此等到明年的十纳米工艺正式量产,其实是会有HDUV-600型光刻机来承担的。
此外,实际上后续扩产十四纳米工艺的话,也会使用这一款光刻机,主要是产量高,性能好,综合成本要更低一些。
因此智云微电子,对HDUV-600型光刻机的需求量是非常大的。
这也导致国内其他晶圆厂想要获得HDUV-600,难度还是比较大,数量也少一些。
当然,他们其实也买不起多少,因为这款光刻机非常昂贵。
智云微电子第一批次采购的HDUV-600光刻机,单价达到七千八百万美元,虽然价格比ASML的NXT1980的八千多万美元便宜一些,但也是属于超级昂贵的设备了。
一些看似财大气粗的国内晶圆厂,如果要下单购买这种光刻机都得勒紧裤腰带,精打细算才行……毕竟一条产线,好歹你也得弄个四五台这种级别的光刻机啊,这么一来就得好几亿美元呢。
再加上搭配的同级别的顶级配套设备……比如海湾科技里搭配推出的HSD-360型后道光刻机,这款后道光刻机也得三千多万美元。
整条产线光是各种核心设备的采购成本,都得二十亿美元起步,这还是一条产线,产能极有有限,如果要大一些的产能,搞两条产线,三条产线,那么投资金额基本都是六七十亿美元起步。
国内的晶圆厂,其实很少能玩得转,也就中芯勉强可以搞一搞,其他的也就是弄一台,两台光刻机,先尝个鲜,搞个测试,技术验证这些。
然后再琢磨着怎么凑集资金搞新的晶圆厂。
所以,对于国内的晶圆厂而言,HDUV-600型光刻机是女神,看着流口水,但是买不起。
他们更主要的目的还是HDUV-500A型光刻机,甚至是HDUV-400型号光刻机
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