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第七十八章 授业之恩,今生难忘

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  “比如我们要做14纳米芯片,可以把设计的芯片电路图案拆开,就得到了两份28纳米间隔的电路图案,分两次把它们刻在硅片上,就会形成完整的14纳米芯片电路图案,就类似于我们龙国的太极图,一阴一阳互补的意思。”

“因为是两块芯片掩膜版,所以要给双倍的流片费用。”

陈星大致听明白了,这個多重曝光技术就相于要印刷一个AB字母的组合图案。

第一步先把AB拆开,得到A与B两个图案,然后将它们分别制作光掩膜版,紧接着用第一块A字母的掩膜版在硅片上刻了A,再用B字母的掩膜版在硅片上刻上B,最终得到所需要的AB组合图案。

八个字概括就是,精度不够,工序来凑。

“要花两倍的流片费用,高总,14纳米的……”

陈星刚想问问流片费多少,却发现高永明整个人止不住颤抖,瞳孔微缩的同时,充满了恍然大悟与激动之色。

他身旁的两位光刻工程师,也在喃喃低语。

“多重曝光…”

“既然单次精度不够,为何不分两次曝光呢?”

“好天才的想法…”

三人似乎进入了顿悟状态,高永明本身就是干这方面的,同时也是光刻领域的教授,他自然不会听不懂林天在说什么,现在他脑海只有一段话:“多重曝光技术,DUV光刻机的春天终于要来了吗?”

一阴一阳的图案互补,理论上是绝对可以的,而且还能一分为四,虽然工序更复杂,还别说,7纳米芯片真能造!

曲程也在惊叹这个想法,他怎么说也是半导体领域院士,虽然不是光刻方面的,但步骤他可都是一清二楚的。

惊叹林天想法的同时,也在感慨陈星运气怎么这么好,可以结识到这么多天才。

高正谦、白衍、林天这三人,他都可以用怪胎形容了,而陈星可以同时和他们结交,并将其收入麾下,怪不得有人说,运气也是实力的一部分。

不知过去多久,可能有足足十分钟左右。

“呼——”

唐鑫宇长舒一口气,看向高永明说道:“生产阴阳芯片掩膜版,没准真能突破光刻机限制,造出14纳米芯片。”

“我觉得可以一试。”

另一位龙芯国际的工程师也开口给予肯定。

以往他们的思维是,拥有多少纳米精度的光刻机,就制造多少纳米的芯片,这也是国际一直灌输的刻板理念,让


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