南洋的电子产品中得到应用。
而在去年年底,张敬业提出了一个创新性的想法:在集成电路的制造中和光学-化学的反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递交到单晶表面或介质层,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
在公司工程师的帮助下,张敬业研究一种二氧化硅的扩散技术和pn结的隔离技术,并创造性的在氧化膜上制作出精细的铝膜连线,使元件和导线合成一体。
盯着电路图看了一会,张敬业就离开了办公室,进入了制图室,在那里一名女职员正俯身于桌前,在用精细的刀片在光掩模母版上,徒手把晶体管和电路连接,一点点刻出来。
在光掩模母版的下方还有用彩色铅笔绘制好的集成电路版图,女职员就是刻版时,靠着刻图桌上的背光徒手制版,张敬业则在一旁仔细检查着已经刻好的线路。
差不多过了半个小时,见女职员的额头冒了些汗珠,张敬业便说道:
“玉洁,要不然先休息一会。”
朱玉洁摇头,笑道,
“不用,就差最后一点,等刻好了再休息也不迟。”
说罢,她特意抬头看了一眼老板,强调道。
“如果我没记错的话,咱们的钱快完了,只有尽快造出它,才能争取进下一轮投资。”
说是最后一点,但是等刻完了最后一块版图,已经临近中午了,但是他们并没停下来,而同把母版图形用专用的相机缩小50-100倍,才能获得一张用来做光刻的光掩模。
当天,世界上第一块光刻集成电路就被制造了出来,而这种和手工光掩模相匹配的原始光刻机,就是接触式光刻机。
时间最终定格在这一天,五六年十二月十日,包括老板在内,只有四名职员的南洋gad公司制造出了第一台接触式光刻机。顾名思义,接触式光刻机,就是简单粗暴地将光掩模盖在硅片上,光掩模与光刻胶图层直接接触,再打光照射,直接曝光,其原理类似于照相机,甚至光刻机的结构都不如照相机复杂。
虽然是一种原始的、简单的光刻机,但却开启了一个新的时代。
……
“通过铝膜连线,可以使元件和导线合成一体,这种平面制造工艺,不仅可以大规模降低集成电路的成本,而且还可以进行大批量工业化生产……”
在一家投资公司内,张敬业向投资人展示着公司的发明,一个只有拇指大小的集成电路。
“在这块集成
本章未完,请点击下一页继续阅读!