之间,应该还是有一些项目可以合作的。”
“除了光刻机这个项目之外,其他一些设备如果魔都微电子设备能够生产的话,我们是可以考虑从贵司购买的。”
曹阳的这个回答大大的出乎了贺光明的预料。
南山设备要自己生产光刻机?
要不要那么搞笑?
最关键的是听曹阳的意思,那是要让魔都微电子设备给南山设备打下手,生产一些南山设备看不上,但是国内已经具备生产实力的设备。
这种事情,让贺光明怎么接受?
完全不知道怎么往下谈下去了!
“曹总,光刻机是目前为止,人类有能力制造的最精密和复杂的机器,没有之一。”
“一台光刻机,有三大关键部分组成。”
“第一部分是光源、第二部分是光学系统、第三部分是蚀刻工作台。”
“每一部分的技术挑战都堪比登月。”
“先说光源,那阿斯麦刚刚生产出来的全球最先进的光刻机EUV光刻机来说,这是一种 13.5纳米波长的极深紫外光,要产生这种光,目前的做法是用高功率的激光轰击一个直径只有三千万分之一米的小锡球。”
“这个事情,只是简单地一句话是不足以描述它的难度,我需要展开来说。”
贺光明觉得曹阳对光刻机应该是了解的比较很少,要不然不会做出让一直生产机床等设备的南山设备去研究光刻机。
所以他准备好好的给曹阳扫盲一下。
“首先要让一束激光准确击中正在以时速大约 200英里运动的小锡球,等小锡球的温度达到 50万度时,再用一束激光轰击它,这时就能产生波长 13.5纳米的极深紫外光。”
“要持续稳定产生这种紫外光,需要以每秒钟大约 5万次的频率轰击小锡球。”
“这种激光器全世界只有一家德意志公司能生产,这家叫通快的德意志公司用了十年时间才研发成功,单单是这台激光器就有 45700多个零件。”
“但你可能没想到,通快公司的这台激光器又依赖于一家立/陶/宛的公司提供关键设备,没有这家立/陶/宛公司制造的光源设备,通快公司也生产不出来相关的设备。”
“而哪怕是你能搞定这一步,那么下一个难关是如何把这种极深紫外光收集起来,形成一束极深紫外光的激光呢?”
“这里面就涉及到了光学系统。”
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